| 电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置 |
| CN201110062041.X 2011-3-15 发明申请 |
| 2011-8-24 |
| 本发明公开一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，属电子显微镜领域。该装置中，光阑架上设有定位槽和压片，光阑片通过压片压设在定位槽内；光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔；光阑架设在光阑孔调节装置的光阑轴前端，能通过光阑孔调节装置上设置的调节手柄、尾盖螺帽和微调装置，调节光阑轴对光阑片上的光阑孔进行选择及空间三个方向上的精密调整，使光阑孔的中心处于电子束轴线上。该装置结构简单，方便选择并定位不同孔径通孔作为光阑孔，从而获得不同的照明孔径角，使第二聚光镜实现针对不同的样品可提供不同的照明孔径角。 |
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