根据种类的一扫描显微镜装置,形成的一个结构单元中的装置,用于一显微镜和一程序和用于光学扫描装置的一个或多个样本
 
DE102010007727  2010-2-12  发明申请

2011-8-18
 
  所形成的一扫描显微镜中的一个装置,所形成的一个结构单元中的一个装置用于一显微镜和一种方法和一种用于光学扫描装置的一个或多个样本。一种装置在所形成的一扫描显微镜具有一个光源(42),其发射照明光光束(32)。一种聚焦透镜系统(34)聚焦在所述的照明光光束(32)上的一个区域到被检查的样品(36)。致动器装置移动所述聚焦透镜系统(34)根据规定的关系中的横向扫描图案,以一中心所述的照明光的光束轴(32)和\/或关系以一壳体中的一个结构单元(20),其包围所述聚焦透镜系统(34)。
 
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