产业专利数据
 
电子显微镜和样品分析方法。
 
JP2010019765  2010-1-29  发明申请
2011-8-18
 
  要解决的问题 : 以使能容易地获得晶体取向样品的内部信息。溶液 : 一个电子显微镜具有 : 一个电子束中的透镜镜筒1，以便照射电子束1a到样品11; 一个样品台3以支撑所述样品11; 一散射电子探测器6中，以便检测从所述样品反向散射电子放电11; 和一聚焦离子束中的透镜镜筒2，以便与一聚焦离子束照射该样品112B。版权 : (C)2011，inpit
 
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