控制装置的透射电子显微镜,透射电子显微镜系统,控制透射电子显微镜的方法,和程序
 
JP2010021904  2010-2-3  发明申请

2011-8-18
 
  要解决的问题 : 以提供一个控制一个传输电子的显微镜装置,其可便于对准的一一相位的发送波和一通过-孔板。溶液 : 所述控制装置200所述传输的电子传输电子显微镜所述的显微镜是一个控制装置100包括该相位板120,其被设置在一预定的表面通过其所述发送波和散射波; 通过发送一个电子束通过一个样品获得的,通,并改变至少一个的相位的所述通过所述发送波的发送波和散射波通过该通孔。所述控制装置包括一个图像获取单元210,用于获取一通过传输电子显微镜获得的图像干扰所述发送波和散射波,一个操作装置220用于获得一个傅里叶变换图案的傅立叶转换所述传输电子显微镜图像,和一个控制信息生成装置230用于产生控制信息用于通过所述发送波通过所述通孔通过所述发送波和所获取的位置关系所述预定表面上的通孔从一个傅里叶变换图案。版权 : (C)2011,inpit
 
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