| 原子力显微镜和使用原子力显微镜测量样品方法 |
| US12929674 2011-2-8 发明申请 |
| 2011-8-18 |
| 原子力显微镜和使用原子力显微镜测量样品的方法。 原子力显微镜可以使用短行程扫描仪和长行程扫描仪精确地测量样品的3D形状。 原子力显微镜可包括用于传送样品的台， 至少一个悬臂，所述悬臂包括探针，使得驱动位移和驱动频率通过相对于样品原子的吸引力和排斥力而改变；至少一个短行程扫描器，所述短行程扫描器包括悬臂以执行样品的短行程扫描；至少一个长行程扫描器，所述长行程扫描器包括短行程扫描器以执行样品的长行程扫描；以及至少一个粗进近系统，用于将短行程扫描器和长行程扫描器传送到样品。 |
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