| 基于扫描电镜的纳米尺度三维形貌测量方法 |
| CN201010595952.4 2010-12-17 发明申请 |
| 2011-8-17 |
| 本发明公开了一种基于扫描电镜的纳米尺度三维形貌测量方法。该方法将目前使用广泛的扫描电镜与宏观测量中的数字摄影测量有机结合起来。充分利用扫描电镜操作简单、可以拍摄出高放大倍数、大景深二维图像的特点，又有效地发挥了数字摄影测量方法可以从多角度拍摄的照片中自动、高精度地重建出被测物体表面完整三维数据的优势。通过使用扫描电镜在同样的放大倍数下从多个角度拍摄样件的照片，得到一组样件图片；对图片的畸变进行图像矫正；对矫正得到的图像通过数字图像相关算法进行重构，从矫正的图像和预先标定好的系统参数中重建出样件表面完整的三维点云数据，实现在纳米级精确测量样件局部范围内三维形貌的密集点云数据；从而实现对纳米级微型器件形貌的三维测量。 |
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