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像差校正暗场电子显微镜

US13024961 2011-2-10 发明申请

2011-8-11

透射电子显微镜包括产生电子束的电子束源。提供束光学器件以会聚电子束。像差校正器校正电子束的至少一个球面像差。提供试样保持器以将试样保持在电子束的路径中。一个探测器被用来探测穿过样品的电子束。透射电子显微镜在暗场模式下操作，其中电子束的零束未被检测到。显微镜也能够在非相干照明模式下操作。