| 应用于透射电子显微镜的层叠式低像差会聚小透镜 |
| CN201110039361.3 2011-2-16 发明申请 |
| 2011-8-10 |
| 本发明公开了一种应用于透射电子显微镜的层叠式低像差会聚小透镜，包括励磁线圈、外磁路、极靴，极靴的下部为层叠式结构，包括多个层叠布置的软磁性材料磁环，相邻的软磁性材料磁环之间采用非导磁材料圆环作为间隔。相邻的所述软磁性材料磁环的厚度比为1∶0.618，自极靴的端部向上按顺序厚度增长呈指数分布。可在较长的工作距离下获得低的球差系数，且透镜的极靴不易饱和，因此可在较大励磁电流作用下在极靴处获得较强的磁场，很好的解决了极靴饱和与磁场强度之间的矛盾。 |
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