| 倾斜在扫描电子显微镜测量方法，和扫描电子显微镜 |
| JP2010010022 2010-1-20 发明申请 |
| 2011-8-4 |
| 要解决的问题 : 以获得一个精确级倾斜的倾斜而不使用一个传感器测量或校准样品。溶液 : 该扫描电子显微镜1所述设计数据的基础上形成图像的一样品，即，一个样品在其图形与特征点作为参考用于距离测量在所述设计数据被分布在两个交叉方向(步骤ST2)，发现放大的电流的变化所述的基础上可视场图像特征之间的距离点设置在一方向交叉的倾斜方向在所述电流的可视场图像进行成像和一个距离在所述设计特征点之间的数据(步骤ST5)，和基于发现该倾斜在所述特征点之间的距离沿该倾斜方向设置在所述电流可视场图像，所述特征点之间的距离在所述设计数据所述的图像和所述的倍率变化(步骤ST6)。版权 : (C)2011，inpit |
微信公众号