| 电子源、电子枪、电子显微镜装置及使用该电子源电子束光刻装置 |
| US13020098 2011-2-3 发明申请 |
| 2011-8-4 |
| 实现了一种电子源，其具有较低的电子发射表面功函数，产生较窄能量带宽和较高电流密度的发射电子，并且持续时间比现有的Zr/O/W电子源更长。 此外，还提供了在较短时间内产生较高分辨率图像的电子显微镜和产生较高吞吐量的电子束光刻装置。 所述电子源包括由尖端呈针状的金属制成的针状电极、加热所述针状电极的加热体、以及能够被所述加热体加热的扩散源，所述扩散源由含有氧和碳颗粒的钡复合物的混合物制成。 |
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