| 扫描探针显微镜谐波校正控制器 |
| US12697183 2010-1-29 发明申请 |
| 2011-8-4 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜及其操作方法，以校正由重复扫描运动引入的误差。 显微镜包括在三个方向上相对于样品移动探针尖端的致动器。 所述致动器在所述方向之一上执行以重复运动频率为特征的重复运动，并在所述方向中的第二方向上改变所述样品和所述探针尖端之间的距离。 探针位置信号发生器产生指示探针尖端相对于悬臂的位置的探针位置信号。 探头信号校正发生器通过校正由重复运动引入的误差的探头位置信号来产生校正的探头位置信号。 控制器基于校正后的探针位置信号在第二维度中将探针尖端相对于样品保持固定关系。 |
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