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产业专利数据

扫描电子显微镜

US12188870 2008-8-8 发明授权

2011-8-2

一种扫描电子显微镜，具有带电粒子束，当带电粒子束处于朝向样品照射的状态时，向样品施加电压，使得带电粒子束不到达样品。扫描电子显微镜还使用获得的信号和基于测量结果自动调节条件的装置来检测关于样品的电位的信息。