| 扫描电子显微镜 |
| WOJP11000301 2011-1-21 发明申请 |
| 2011-7-28 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜提供与一个计算装置(403)用于测量所述图案的尺寸在一个样品(413)，其特征在于，所述量的一种图案形状的变化，通过电子束照射引起的，被计算和存储，和一图案形状的轮廓(614; 815; 1512)所述样品是与电子束照射之前被恢复从一图案形状的轮廓(613; 814; 1511)中的一种扫描电子显微镜图像(612; 813; 1510)所述样品之后使用所计算的是与电子束照射量和，然后，所述图案形状轮廓(614; 815; 1512)被显示。因此，所述的收缩抗蚀剂和\/或所述当一个样品引起的静电电荷被照射的效果与电子束被消除，使得所述一个两维图案形状的轮廓一种电子束照射之前可以被恢复与一个高精度的程度，和所述图案的尺寸可以测量与高精度的程度，使用所恢复的图像。 |
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