电子显微镜的小聚光镜
 
CN201110032112.1  2011-1-28  发明申请

2011-7-27
 
  本发明公开一种电子显微镜的小聚光镜,属电子显微镜领域。包括:下极靴为上端开口的圆筒体,圆筒体上端开口外设有法兰,下端设有圆锥形底,圆锥形底上设有电子束通孔;上极靴为中空的圆筒体,上极靴下端设有环形凸台,上极靴设在下极靴内;磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成,线圈筒架为中空圆筒体,圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板;磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上,夹设在上、下极靴之间,磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上;下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈,隔圈与下极靴固定连接,隔圈的中心部位设有通孔。该小聚光镜结构简单,使用方便。
 
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