| 电子显微镜观察相位恢复系统和方法 |
| JP2005155069 2005-5-27 发明授权 |
| 2011-7-20 |
| 要解决的问题 : 提供一种由相位观测技术检索式电子显微镜，使强度分布的平行电子束与显微直径测量的真实图像，电子衍射图案鲜艳均匀。方法 : 在相位恢复式电子显微镜，在观察真实图像，会聚电子束照射的同时，扫描到目标区域2的样品3，一种透射电镜电子束的强度和检测到的与摄像元件(11)被显示在监视器17，在同步与用于会聚电子束的扫描成像目标区域2，在观察的电子衍射图形，限位场光阑15，具有符合孔的形状和面积的目标区域2插入的正上方样品3，静态平行电子束照射到目标区域2的样品3通过限制字段膜片15，和由电子衍射图样的电子束发射样品3检测与成像元件11。' 版权 : (C)2007，隆起部' |
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