| 电子显微镜 |
| JP2009296669 2009-12-28 发明申请 |
| 2011-7-14 |
| 要解决的问题 : 提供一环境控制型电子束装置，其中所述附件中，移除，位置调整; 和一个差分排气隔膜的更换可以进行短时间内通过一个容易的工作，而不具有打开，以便一个样本室的内部气氛，和高分辨率成为可能。溶液 : 一个电子显微镜包括一个用于发射电子束的电子枪; 一个物镜，以从所述电子枪发射的主电子束会聚到一个样品; 一个样品室设置在所述物镜; 一个样品的精细调整装置配备在所述样品室; 和一个用于控制所述样品室中的真空排气系统。一用于安装和更换部件去除所述差分排气隔膜被安装在所述样品的精细调整装置; 和所述差分排气隔膜是具有相对于所述物镜与和去除附着，通过驱动所述替换部件由于该样品的精细调整装置。版权 : (C)2011，inpit |
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