| 扫描电子显微镜 |
| JP2009297310 2009-12-28 发明申请 |
| 2011-7-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，其保证甚至如果观察获得的图像失真的精度是在一个偏转引起的信号。溶液 : 在所述扫描电子显微镜10，偏转图像21，23在其一个电压值或一电流值所述偏转的信号S4，S5偏转电子束13被切割出作为亮度被获得同时具有从一个图像的观察图像的切口部19。此外，通过所观察的图像是保证精度校正所述该观察对象的每个像素上的长度lxn所述的基于在所述倾斜观察图像的亮度信息的所述偏转图像21，23，或通过校正所述偏转控制信号S1，使得所述电子束的偏转速度Vx基于5月13日被恒定在所述电压值或所述偏转电流的值信号S4，S5。版权 : (C)2011，inpit |
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