| 用于观察非真空环境中物体的扫描电子显微镜、界面和方法 |
| US13002448 2009-7-2 发明申请 |
| 2011-7-14 |
| 一种用于观察位于非真空环境中的物体的界面、扫描电子显微镜和方法。 该方法包括 : 在真空环境中产生电子束； 用所述电子束扫描所述对象的区域，同时所述对象位于对象保持器下方； 其中所述扫描包括允许所述电子束穿过孔阵列的孔，穿过密封所述孔的超薄膜，并且穿过所述物体保持器； 其中所述超薄膜承受所述真空环境和所述非真空环境之间的压力差； 以及检测响应于电子束和物体之间的相互作用而产生的粒子。 |
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