用于三维干涉显微镜的系统和方法
 
US13051670  2011-3-18  发明申请

2011-7-14
 
  在一个实施例中,一种装置包括具有多个检测器和处理器的光学系统。 所述光学系统被配置成在给定时间在每个检测器处产生第一维度和基本正交于所述第一维度的第二维度中的光源的图像。 来自图像的每个图像基于来自光源的沿第一方向的发射和来自光源的沿不同于第一方向的第二方向的发射的干涉。 处理器被配置成基于图像计算第三维中的位置。 所述第三维度基本上与所述第一维度和所述第二维度正交。
 
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