| 方法用于产生临界尺寸扫描电子显微镜的配方 |
| KR1020090134508 2009-12-30 发明申请 |
| 2011-7-7 |
| 目的 : 一种用于产生所述配方的方法的一个关键尺寸-扫描电子显微(CD-SEM)机被提供到准确地实现一个测量操作与相对于目标位置。<\/P> 构成 : 一计算单元接收到的绘图信息从一个绘制服务器包括多个绘制的信息(200)。所述的绘图信息是CAD信息或掩模信息包括CD坐标和图形信息。一种CD测量产生的配方是基于所接收到的绘图信息(202)。所述产生CD测量的配方被施加到CD-SEM机(204)。一种测量操作是实现与相对于一个加载晶片使用该配方(206)。<\/P> 版权kipo2011<\/P> |
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