目的 : 一种电子显微镜的电子枪电压变化的测量系统被提供以容易地测量所述高电压施加在电子枪和确认所述的电子光束是否被产生或不通过测量所述的改变该电压。<\/P>

构成 : 一个加速电压的分部分(11)接收所述的电子枪的加速电压和输出该电压通过将所述低压力与所述的电压。一种偏置电压的分部分(13)接收所述的偏置电压所述电子枪和输出该电压通过将所述低压力与所述的电压。一种灯丝电压分部分(15)接收所述的电子枪的所述灯丝电压和输出该电压通过将与所述的电压所述低压力。一种加速电压变化测量单元(21)测量所述输出电压的变化从该加速度电压分部分。一种偏置电压变化测量单元(23)测量所述输出电压的变化从所述偏置电压分部分。一种灯丝电压变化测量单元(25)测量所述输出电压的变化从该灯丝电压分部分。<\/P>