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产业专利数据

高通量扫描电镜工具

US12528306 2008-2-22 发明申请

2011-7-7

描述了一种扫描带电粒子束装置(100)。扫描带电粒子束装置包括用于发射一次电子束的射束发射器(102)，用于在样品上扫描射束的第一扫描级，适于从一次电子束中分离信号电子束的消色差射束分离器(130)，以及用于检测信号电子的检测单元(172, 174, 178)。