| 扫描电子显微镜 |
| WOJP10073315 2010-12-24 发明申请 |
| 2011-7-7 |
| 一种技术能够suctionally将一个样品没有不必要地增加所述的电压施加到静电卡盘被提供。一检验样品具有一种已知的翘曲的大小和一个已知的翘曲的图案是用于进行一种suctional-附着测试有关于一种静电卡盘，以确定所述临界施加电压时，所述suctional-连接状态的变化从“不能令人满意的”以“良好”。当该目标检查样品被测量，所述目标检查样品被测量的所述的平整度和所述翘曲所述目标检查样品的尺寸和所述的经纱图案被检测到。所述电压施加到所述静电卡盘被设置在根据与所述翘曲的大小和所述的经纱图案所述目标检查的样品，和根据与所述已知的临界施加电压。 |
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