| 显微镜装置 |
| JP2009287086 2009-12-18 发明申请 |
| 2011-6-30 |
| 要解决的问题 : 以提供具有相对简单的配置一个共焦显微镜装置,其中所述共焦显微镜装置可以防止从出现的背景噪声。溶液 : 所述共焦显微镜装置100包括一光源11,一种照明光学系统10,一种测量光学系统20,一种图像传感器22,一个级30在其一个样品被放置,一个级-驱动单元31用于移动该级30沿光学轴,和一个控制单元40用于控制它们。所述的照明光学系统10包括,依次从所述侧的所述光源11 : 一种准直器透镜12; 一偏振器13; 一种半透半反镜14; 第第一偏振光束分束器15; 一种Nipkow盘16,其中多个共焦小孔16a的上被形成; 第第二偏振光束分束器; 和一个共焦光学系统18。所述测量的光学系统20包括,依次从所述侧的所述样品 : 所述共焦光学系统18; 第二偏振光束分束器17; 所述Nipkow盘16; 第一偏振光束分束器15; 所述半反射镜14; 和一个中继光学系统21。版权 : (C)2011,inpit |