| 扫描电子显微镜，和扫描电子显微镜的成像方法 |
| JP2009289003 2009-12-21 发明申请 |
| 2011-6-30 |
| 要解决的问题 : 以缩短操作时间与通过使高操作效率，以精确地和自动图像一种一个指定的条件中的预定区域。溶液 : 该扫描电子显微镜10被提供与一个驱动控制部分50用于驱动一个电子-光系统30和一个样品台40和一个自动成像装置60。所述的自动成像装置60被提供与一个图像指定模块61进行指定的一个或多个成像区域内的一电流可视场画面的一个指定的区域和成像条件的设定区域，一存储模块62存储位置信息，成像条件和所述成像区域的指定的可视场画面，一叠加显示63用于显示的画面显示所述电流成像区域和图片显示成像条件叠加在所述电流可视场画面，和一位置调整模块64用于比较该电流的基础上成像的成像图片与该电流可视场画面输入的所述位置信息存储和用于输出一个校正的成像位置从一个所述两种图像的位置偏移的体积，和获得一个最终成像在所述校正的画面成像位置发现通过所述位置调整模块所存储的所述成像条件的基础上。版权 : (C)2011，inpit |
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