| 一种物镜快速变倍分离视场显微镜 |
| CN201110004474.X 2011-1-11 发明申请 |
| 2011-6-29 |
| 本发明是一种应用于曝光机的对准观察装置，具体为一种物镜快速变倍分离视场显微镜。本发明由物镜快速变倍装置、物镜系统、目镜系统等构成。以原有分离视场显微镜为原型，保持物镜工作距离不变，眼点出瞳位置到工作面的距离不变，增大物镜与反射镜之间的距离，在物镜安装处增加了物镜快速变倍机构，该变倍机构旋转部分设置为下转盘的物镜定位面在同一水平面上的形式；同时本发明对照明系统做了优化设计，新光路中照明光线和成像光线在水平方向独立传播；光路转向结构由直立型改为转折型；目镜进行双目距调节结构由直拉式分光结构改为回转式分光结构。本发明能在进行粗对准和精细对准切换时，能够实现物镜快速变倍功能。 |
微信公众号