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产业专利数据

一种同时进行扫描电镜和光学检测的方法及装置

US12349195 2009-1-6 发明授权

2011-6-28

能够观察液体样品的方法和设备。可以同时获得样品的光学图像和使用诸如电子束或带电粒子束的初级束的图像。该装置具有包括第一表面的膜，液体样品保持在该第一表面上。主光束照射柱和光学图像采集观察器位于起遮光作用的胶片的相对侧。