用于原子力显微镜nanoneedle尖端和所述相同的方法用于制造
 
KR1020090126673  2009-12-18  发明申请

2011-6-24
 
  

目的 : 一种用于将碳纳米管的方法,用于所述nanoneedle原子力显微镜(AFM的尖端)是提供以增加生产率和降低所述单元通过将碳纳米管在所述nanoneedle成本没有一个纳米AFM的尖端针机械手。<\/P>

构成 : 一个nanoneedleAFM的尖端被放置在所述支架用于保持所述样品的扫描电子显微镜(SEM)和所述碳纳米管安装在所述的全探针被固定到所述尖端(S120)。所述碳纳米管的附着所述尖端设置大致垂直方向上以所述nanoneedle(S130)。所述碳纳米管安装在所述的全探针被精确地切割和除去通过聚焦离子束照射和电子光束(S140)。所述碳纳米管被衬以在平行于所述聚焦离子束通过所述聚焦离子束照射(S150)。<\/P>

版权kipo2011<\/P>

 
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