| 激光共聚焦显微镜和样品表面的检测方法。 |
| JP2009274502 2009-12-2 发明申请 |
| 2011-6-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光共聚焦显微镜能够精确地检测一个样品的表面，和一个表面检测方法。溶液 : 所述激光共聚焦显微镜包括 : 一激光光源2发射的照明光; 一物镜透镜10，其与所述的照明光照射到样品11; 一个级17，其中所述焦点之间的距离改变所述物镜透镜10的位置和所述样品11; 一偏振光束分束器3所述激光光源2和所述物镜之间设置透镜10和将根据偏振特性的光; 一λ\/4板7之间固定所述偏振分束器3和所述物镜透镜10; 一λ\/4板8可插入或所述偏振分束器3和所述物镜之间的可移动透镜10; 一个共焦光阑13设置在一个与所述焦位置光学共轭的位置; 和一个光检测器14输出一信号根据所检测到的光从所述样品的强度11，其具有通过所述共焦光阑13。该λ\/4板8被插入所述偏振分束器3之间和所述物镜透镜10观察时一个样品的多次反射。版权 : (C)2011，inpit |
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