| 透射电子显微镜和样品观测方法。 |
| JP2009277305 2009-12-7 发明申请 |
| 2011-6-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一透射电子显微镜和一个样品的观察方法能够检测散射的电子一种高散射的角度，而不引起的接收限制到所述电子透镜的球面像差和提高所述深度分辨率。溶液 : 所述传输电子显微镜是提供具有一电子枪1用于电子2照射到样品5; 一电子检测器单元13用于检测散射电子的散射发送该样品5; 一第一检测器一侧的环形光阑15，具有一狭缝之间的一个环的形状，其是位于所述电子检测器13和样品5和调节通过所述的一个内直径和一外直径范围该散射电子从所述样品的5; 和一第二检测器一侧的环形光阑16，一个环的形状，其具有一狭缝之间的是位于第一检测器一侧的环形光阑15和所述电子检测器13，和调节的内直径和一外部通过该散射电子的区域的直径，其通过第一检测器一侧的环形光阑15。版权 : (C)2011，inpit |
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