| 用于扫描探针显微镜或物体修改的微加工电子束或离子束源和二次拾取器 |
| US11383356 2006-5-15 发明授权 |
| 2011-6-14 |
| 电子束或离子束成像和曝光系统被构建在AFM悬臂的末端，该悬臂使用AFM中内置的扫描能力成像。 在一个实施例中，硼掺杂金刚石冷阴极与相关联的加速电极和二次电子收集电极形成在悬臂中。 使用AFM将组件置于要成像或曝光的对象的几纳米范围内。 内置于悬臂组件中的一个或多个气体通道提供惰性气体的正压，以防止冷阴极的氧化侵蚀，并且可以排出在样品表面上积聚的任何表面电荷。 收集二次物后，将悬臂移动到下一个要暴露的区域。 |
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