| 装置，用于检测试样的综合一显微镜 |
| DE102009057304 2009-12-7 发明申请 |
| 2011-6-9 |
| 与一源极与一显微镜的光(22)，用于检查一样品(30)一种照明光的射线(23)。被产生。一种scaneinheit(24)中将所述的照明光的射线(23)，在所述样品上导引一个物镜(30)，和移动从而所述的照明光的射线的聚焦范围(23)内的一给定scanfelds在或在所述样品(30)。至少一个检测器装置(36)，所述两个或多个光敏半导体元件(50)外壳，检测一个样品(30)的输出和所述scaneinheit(24)不转移的检测光的射线(31，40)。 |
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