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产业专利数据

扫描电子显微镜

US12926726 2010-12-7 发明申请

2011-6-9

示例性实施例涉及扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜包括 : 电子枪，配置成将电子束照射到样品上；以及透明材料的盘，包括电子束穿过的通孔。盘包括在其表面形成的闪烁体层，以便基于从样品接收的二次电子产生光子。在通孔的内周面上形成反射层，以反射光子，从而防止光子经由通孔泄漏。