| 使用全息显微镜研究纳米尺寸物体的方法 |
| EP09783710 2009-10-2 发明申请 |
| 2011-6-8 |
| 一种方法用于检测一个三维物体小于300nm包括提供一个光源产生一第一光光束(1)，所述光源被至少部分地相干; 和拆分第一的光束(1)为物光束(2)和一个参考光束(6)通过一第一分束器(BS1)。所述光源的一个图像是在一个光源产生的图像平面由一个第一显微镜物镜(L1)，所述的光学路径中的所述物光束(2)。所述三维物体到一个对象中被检测到的电池(3)被定位在所述的光学路径所述物光束(2)，第一分束器(BS1)和第一之间的显微镜物镜(L1)。所述物光束(2)和所述参考光束(6)被重组为一个重组的光束(8)通过使用光学装置。一个光阑(4)被放置在所述显微镜物镜的光的源图像平面(L1)在所述该显微镜物镜的光学轴线(L1)。干涉产生的信号通过所述参考光束和所述物光束之间的交互是记录与记录装置(5)。所述的重组束(8)被聚焦到所述记录装置(5)与一聚焦器(L3)。所述三维物体的三维图像是重构，以从所述干涉信号被检测到，从而检测所述三维对象。 |
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