测量探针显微镜方法和扫描探针显微镜
 
JP2006129859  2006-5-9  发明授权

2011-6-8
 
  本发明提供一种探针显微镜用于测量样品的表面电位,包括一接触带电机构(电路(C)),用于使导电探针装置接触的表面的样品施加电压在接触状态诱导带电表面上的样品,和电位测量机构(电路(K)),用于测量样品的表面电位而造成的接触带电机构在非接触状态的导电探头装置和样品表面,所述带电引起的接触带电机构和测量的表面电位的电位测量机构在时间上交替串联在接触时施加的电压逐渐地改变,从而所施加的电压之间的相关性测量的表面电位。
 
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