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扫描电子显微镜

WOJP10070188 2010-11-12 发明申请

2011-6-3

本发明公开了一种扫描电子显微镜，其可以达到装置小型化，同时抑制柱中的温度的增加和维护区域中的性能如解析功率。所述扫描电子显微镜，观察样品通过检测二次电子照射该样品时从所述样品与一个电子束，其是从一个电子源发射和聚焦的聚焦透镜，其特征在于，所述前述聚焦透镜包括两个电磁线圈和一个永久磁体。