| 扫描型显微镜 |
| JP2009261768 2009-11-17 发明申请 |
| 2011-6-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一较高质量的图像在一较高的速度与一扫描型显微镜使用一个多边形反射镜。溶液 : 激光的光其是在一个方向上长和照射在样品2是一方向中扫描垂直于所述纵向方向在所述物镜的焦点面18与一多边形反射镜15。该观察光从该样品2是通过使用所述使用面descanned用于扫描的照明光所述多边形的反射镜15,冷凝由一电容器透镜14,通过一个狭缝19,和扫描在所述CCD图像传感器25的光接收面使用相同的面。所述在所述旋转轴线方向的角度a1具有相对于所述的面所反射的角度所述多边形反射镜15descanning时所观察的光为等于所述角度在所述旋转轴线方向A1该入射角度与所述多边形反射镜15相对于所述的面扫描时,和所述幅度的所述当所述多边形反射镜15所述的面上的图像descanning上的所述图像的大小等于所述多边形反射镜15扫描时所述的面。本发明是适用于,例如,一个共焦激光扫描显微镜。版权 : (C)2011,inpit |