扫描电子显微镜
 
JP2011048756  2011-3-7  发明申请

2011-6-2
 
  要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜获得一个高-分辨率和高对比度的凹凸图像样品的表面。溶液 : 一用于加速一个主电子束被施加正电压,和一个电场屏蔽板或磁场屏蔽板或电磁场屏蔽板是设置在上部的一物镜透镜。通过使用扫描电子显微镜具有这样的结构,一个样品图像被获得。版权 : (C)2011,inpit
 
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