程序用于与所述帮助的显微镜检查对象和根据一种显微镜的装置,用于检查对象
 
DE102009055993  2009-11-26  发明申请

2011-6-1
 
  根据一种显微镜的一装置用于检查一物体产生一激光光源(22),所述用于照明所述对象上的脉冲激光的光,和detektorund测量系统(24,26),所述检测光输出从所述对象的占用和依赖于所述占用的检测光的测量信号(M2)产生。一种可编程集成电路(20)。覆盖一控制件(32),其用于转向的detektorund测量系统(24,26)第第一控制信号(M4)和用于转向所产生的激光光源(22),一第一延迟元件(36),第一的控制信号(M4)使一第二控制信号(M6),和\/或一第二延迟元件(34),第二的控制信号(M6)阻碍。
 
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