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显微镜聚光系统和用于高孔径聚焦仿真系统，尤其是用于检查掩模的方法

JP2005199482 2005-7-8 发明授权

2011-6-1

用于模拟显微镜成像系统高光圈式成像系统具有成像透镜(2)，检测器和评价装置。分束器(3)的有效极化配合任选地在一个用于产生不同偏振照明光路的条件照明辐射和/或用于不同的成像光束路径中的成像辐射的偏振份。独立权利要求还包括用于仿真方法高光圈式成像系统，尤其用于检查掩模，有成像透镜，探测器和评价装置。