| 一种具有定原子力模糊回馈控制器之接触式原子力显微镜 |
| TW098138920 2009-11-17 发明申请 |
| 2011-6-1 |
| 一种具有定原子力模糊回馈控制器之接触式原子力显微镜之系统架构包括一探针、一探针架、一弹簧片、一雷射二极体驱动器、一雷射二极体、一第一反射镜、一第二反射镜、一四象限光侦测器、一第一电流至电压转换器、一第二电流至电压转换器、一第三电流至电压转换器、一第四电流至电压转换器、一水平偏移量检测器、一垂直偏移量检测器、一第一动态讯号放大器、一第二动态讯号放大器、一多通道高精度数位至类比转换器、一中央电脑处理器、一第一数位至类比转换器、一讯号减法器、一数位式模糊控制器、一高电压运算放大器、一待测样品、与一压电陶瓷管。此一发明之主要工作原理为采用模糊控制器，自动的调整接触式原子力显微镜之定原子力回馈控制系统之控制器输出量，藉以动态的调整接触式原子力显微镜中探针与待测样品之原子作用力，如此可以提升原子力显微镜之扫描速度、精度、与使用便利性，此外亦可改善传统接触式原子力显微镜以人工手动调适回馈控制机制之缺点。 |
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