| 扫描型探针显微镜 |
| KR1020117007172 2009-7-16 发明申请 |
| 2011-5-16 |
| 本发明提供了一种快速操作和稳定的扫描探针显微镜配置成检测该探针之间的交互和一样品以避免产生的谐波成分。一种振荡电路(31)产生一个激励相位信号指示所述的相的激励信号。一个激励信号产生电路(33)产生一个激励信号从所述激励相位信号。一种复杂的信号产生电路(35)产生一复杂的信号从一位移信号。一种矢量计算电路(37)计算该变元的所述复合信号。一种减去相位比较器(39)将所述的变元与所述的相所述激励相位信号通过减法。一种探针装置之间的所述交互的量和一种样品是获得使用所述减去相位比较器(39)。所述比较的结果进行由所述减去相位比较器(39)可以在所述位移之间的相位被输出作为一差值信号和所述激励信号，而且，一环路滤波器可以被设置，以形成一锁相环，和一个频率的信号可以被提供，它是表示一在所述的探针装置的所述谐振频率变化。 |
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