| 用扫描探针显微镜对材料表面进行无磨损操作 |
| US12940079 2010-11-5 发明申请 |
| 2011-5-12 |
| 一种用于扫描材料表面的方法和扫描探针显微镜(SPM)。 所述方法和SPM具有悬臂传感器，所述悬臂传感器被配置为展示第一弹簧行为和第二更硬的弹簧行为两者。 当在接触模式下操作SPM时，在材料表面上扫描传感器，并且通过传感器被材料表面偏转来激励传感器的第一弹簧行为(例如，其弯曲的基本模式)。 同样，当在接触模式下操作SPM时，激励装置用于激励悬臂传感器在其谐振频率(例如，一个或多个更高阶谐振模式)下的传感器的第二弹簧行为，以调制传感器和材料表面的相互作用，从而减少材料表面的磨损。 |
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