| 电子显微镜 |
| WOJP10006424 2010-11-1 发明申请 |
| 2011-5-12 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜，其中所述所述绝缘样品的表面上的电荷是降低以抑制所发生的光束漂移，同时防止所述解析中的功率降低其在所述观测所述的样品。具体地公开了一种电子显微镜，其包括一个电子源和一物镜透镜会聚的一电子光束从所述的电子源释放，和在其一个图像可以通过装置的一个二次信号产生从一个样品产生的在所述样品与所述电子束的照射。所述的电子显微镜，其特征是在使磁性体具有一连续的内直径大于上磁极，其构成所述物镜之间设置是所述物镜和所述样品。 |
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