| 带电粒子显微镜 |
| WOJP10006425 2010-11-1 发明申请 |
| 2011-5-12 |
| 本发明提供一种机制，由此一离子照射系统可以被制成更紧凑，所述离子光学器件的所述长度可以被减少，其离子被中和所述方向从发射器排出的尖端(21)向一个样品可以被精确地调整。所述的带电颗粒束显微镜是配置 : 一气体场电离离子源(1); 一个聚焦透镜(5)加速和聚焦的离子已经排出从所述离子源; 一可移动的第一孔(6)，它限制所述离子束，其具有穿过该聚焦透镜; 第第一偏转器(35)，它扫描或对准所述离子束，其具有通过第一孔径; 第第二偏转器(7)，其偏转所述离子束，其具有通过第一孔径; 一个第二孔(36)，它限制所述离子束，其具有通过第一孔径; 一物镜透镜(8)聚焦，一个样品上，所述离子束，其具有通过第一孔径; 和一种装置用于测量该信号，其是基本上所述的离子束电流成比例的，其具有通过第二孔径。 |
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