扫描探针显微镜,其具有结合有运动学挠曲布置的支撑台
 
US12915441  2010-10-29  发明申请

2011-5-5
 
  一种扫描探针显微镜(SPM)具有基于压电致动器的管扫描器,在该管扫描器上附接有探针,并且通过向压电管施加电压,该管扫描器可在三个平面中移动。 具有管的位移的一组挠曲和附接到挠曲的应变计测量挠曲的挠曲,以在对象的扫描期间提供关于管的位移的反馈。 应变计和挠曲件形成运动学感测框架或布置,其中为每个自由度提供单个约束,并且其中约束至少基本上彼此正交。
 
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