| Mirau型干扰物镜和显微镜 |
| JP2009236473 2009-10-13 发明申请 |
| 2011-4-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一种Mirau型干扰物镜，其获得一个希望的干扰条纹，而不使用一个倾斜阶段。溶液 : 所述干扰物镜透镜包括 : 一个物镜系统的光会聚到所述试样表面，用于照明所述试样表面; 所述样品表面之间设置一个光路分离装置和所述物镜系统和被配置为分体式从所述物镜系统所发出的光为光的光线，反映一个射线的光在一个方向从所述试样表面和发送所述其它不同的射线的光在所述所述样品表面的方向; 一个参考反射镜所反射的光通过所述光路分离装置，使得所述光反射通过该光路分离装置和通过所述光路分离装置和反射的光通过所述样品所述光路分离装置的表面可以被组合; 和一个透镜镜筒保持所述参考镜，以改变所述所述参考反射镜的角度相对以一相交的平面所述的光学所述物镜的透镜系统在右轴的角度。版权 : (C)2011，inpit |
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