扫描探针显微镜工作台及样品观察方法
 
US12994581  2008-6-27  发明申请

2011-4-28
 
  本发明的目的是提供一种用于扫描探针显微镜的载物台,该载物台可以用于任何类型的SPM中,并且可以有效地将光照射到样品和靠近样品的溶液中,而不会被悬臂遮挡所照射的光。本发明的目的是提供一种用于扫描探针显微镜的载物台,该载物台可以用于任何类型的SPM中,并且可以有效地将光照射到样品和靠近样品的溶液中而不会被悬臂遮挡。 本发明的扫描探针显微镜台是用于固定样品基板的扫描探针显微镜台,该样品基板安装在其上并且具有光学透明性,并且包括开口,该开口设置在样品基板被固定的部分下方并且在平面图中具有包括在样品基板内的开口区域。 光从样品衬底的底表面通过开口辐射到样品上。
 
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