| 装置，用于检测二次电子，和扫描电子显微镜 |
| JP2009233470 2009-10-7 发明申请 |
| 2011-4-21 |
| 要解决的问题 : 提供一种廉价的和节省空间的扫描电子显微镜具有宽视场，高分辨率; 高的效率检测，和均匀的检测效率。溶液 : 该扫描电子显微镜200具有 : 一目标290相对于其通过照射电子束产生的二次电子以样品6中设置一个电磁的复合物镜210发生碰撞; 排斥电极250，它具有一个负电位和排斥所述二次电子经由所述目标290; 和两个二次电子探测器220。这里，所述目标290具有一个外周面295作为一大致锥形的目标人脸锥形向下和一垂直穿透电子束通道孔297，该二次电子由到碰撞所述外周面295与高的效率，和所述目标290还用作一个电场保护器，以屏蔽电场从所述二次电子探测器220。版权 : (C)2011，inpit |
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