| 用于表征原子力显微镜针尖的方法和结构 |
| US12906801 2010-10-18 发明申请 |
| 2011-4-21 |
| 一种使用特征结构表征原子力显微镜针尖的方法，所述特征结构具有彼此相对的两个倾斜侧壁，并且其中已知与给定高度相对应的至少一个将两个倾斜侧壁隔开的实际横向距离，所述方法包括通过所述针尖扫描倾斜侧壁的表面，在所述针尖仅垂直振荡的同时执行所述扫描； 对于所述给定高度，测量分隔所述两个倾斜侧壁的横向距离，所述测量结合所述尖端的形状与所述特征结构的形状的卷积； 以及确定作为测量的横向距离和实际横向距离的函数的尖端的特征尺寸。 |
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